環境大臣表彰H18

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(株)日立製作所電力グループ日立事業所:半導体、液晶工場から排出されるPFCガスを除去する屋外設置型 大容量の触媒式分解装置の開発

(株)日立製作所 日立事業所は半導体、液晶工場から排出されるPFCガスを除去する触媒PFC分解装置を製造しています。この度新たに開発した屋外設置型の大容量機がその先進性により「平成18年度 地球温暖化防止活動環境大臣賞」に選ばれました。
PFCガスは半導体や液晶の製造工程で不可欠なガスですが、二酸化炭素と同じく温室効果ガスであり京都議定書の規制対象ガスになっています。
(PFCガス:炭素とフッ素、硫黄とフッ素等によって構成された化合物で、温暖化係数が二酸化炭素の数千〜数万倍とされています。[ PFC:Perfluoro compoundの略 ])
分解が困難とされるPFCガスを独自で開発した触媒(*)を用いることにより他の方式と比べて比較的低い温度(750℃)で分解します。これにより少ないエネルギーでPFCガスの排出量削減に貢献します。
 (*)2005年度 関東地方発明表彰 文部科学大臣発明奨励賞受賞
大型液晶テレビやデジタル家電の需要はさらに拡大しており、半導体、液晶パネルの増産も年々加速的に進んでいます。このため、PFCガス除去装置の高効率化が強く求められています。
本装置は大規模の半導体、液晶製造工場から排出されるPFCガスを一括分解処理することを目的に従来機器より一桁大きい処理容量(処理量:3000L/min)とし、かつ屋外設置できるようにして半導体、液晶製造メーカのニーズに応えるものです。
本装置は現在、国内の大手液晶メーカに合計6台導入されています。

装置の外観(幅3.3m×奥行7.2m×高さ2.7m、重量:12t)  主な装置仕様
左:装置の外観(幅3.3m×奥行7.2m×高さ2.7m、重量:12t)
右:主な装置仕様

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(株)日立製作所ウェブサイト

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